特瑞堡将在 SEMICON Taiwan 2022 上展示最新的半导体 Subfab 解决方案
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特瑞堡将在 SEMICON Taiwan 2022 上展示最新的半导体 Subfab 解决方案

2022-09-15 19:02:34 1005

Trelleborg Sealing Solutions 将在 SEMICON Taiwan 2022 上展示其 Isolast K-Fab Seal。

Trelleborg Sealing Solutions 将在本周(2022 年 9 月 14 日至 16 日)举行的 SEMICON Taiwan 2022 上展示其新推出的 Isolast K-Fab Seal,该产品可在高温半导体子晶圆厂应用中提供长期密封并提高运营效率在台湾台北的台北南港展览馆。

半导体 Subfab 解决方案

“随着极端温度和越来越多的腐蚀性化学流出物在半导体工厂环境中被处理,可靠的密封解决方案对于防止过早失效至关重要。Isolast K-Fab 密封件高度耐受复杂化学物质和关键的子晶圆厂环境中的极端温度,为传统 O 型圈提供了理想的替代密封解决方案,”特瑞堡密封解决方案半导体部门经理 Ethan Huang 说。“由于弹性体元件的独特设计与法兰嵌件形成拼图式连接,因此安装相当容易,Isolast K-Fab 密封件有助于延长预防性维护周期并显着降低拥有成本。

由全氟橡胶 (FFKM) 配制而成的定制密封几何结构使用的橡胶显着减少,以消除溢出和挤出,从而改善热性能,并消除热膨胀和凹槽溢出。与 O 形圈相比,密封几何结构可以承受法兰的不对中,便于组装。这种优化的密封设计提高了性能,尤其是在不同的压力或真空条件下,可以延长使用寿命并降低总体拥有成本。

Isolast K-Fab 密封件可耐受高达 327°C/620°F 的温度,具体取决于材料选择。弹性体材料的灵活使用旨在通过使材料性能与应用相匹配来降低总体拥有成本。Isolast K-Fab 法兰密封件适合与铝或不锈钢结合使用,可以由一系列弹性体材料制造,包括 Isolast FFKM、Isolast PureFab FFKM、用于超高纯度的 PureFab FKM 和标准 FKM。

在为期三天的活动中,特瑞堡的技术专家还将在现场讨论其 Turcon Variseal NW 如何在最极端的加工应用中提供具有成本效益的最佳密封,以及其 Variseal PS 如何为设备制造商和最终用户提供与几乎所有化学介质兼容的密封解决方案。此外,特瑞堡展台的参观者将能够发现 HMF FlatSeal,这是其用于在低温和高温应用中进行有效静态密封的扁平垫片材料系列。

特瑞堡密封解决方案将在 N0880 展位。

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